டைனமிக் ஸ்கேனிங் ஆப்டிகல் சிஸ்டம் ஒளியியல்: 1 பிசி சிறிய கவனம் லென்ஸ் 、 1-2 பிசிக்கள் ஃபோகஸ் லென்ஸ் 、 கால்வோ மிரர். முழு ஆப்டிகல் லென்ஸ் பீம் விரிவாக்கம், கவனம் மற்றும் பீம் விலகல் மற்றும் ஸ்கேனிங் ஆகியவற்றின் செயல்பாட்டை உருவாக்குகிறது.
விரிவடையும் பகுதி எதிர்மறை லென்ஸ், அதாவது சிறிய ஃபோகஸ் லென்ஸ், இது பீம் விரிவாக்கம் மற்றும் நகரும் ஜூம் ஆகியவற்றை உணர்கிறது, கவனம் செலுத்தும் லென்ஸ் நேர்மறை லென்ஸ்கள் குழுவால் ஆனது. கால்வோ மிரர் கால்வனோமீட்டர் அமைப்பில் கண்ணாடி.
(1) லென்ஸ் வடிவமைப்பின் உகப்பாக்கம்: விட்டம் தடிமன் விகிதத்தின் உகந்த விகிதம்
(2) லென்ஸ் உயர் சேதம் வாசல்:> 30J/cm2 10ns
(3) அல்ட்ரா-லோ உறிஞ்சுதல் பூச்சு, உறிஞ்சுதல் வீதம்: <20 பிபிஎம்
(4) கால்வனோமீட்டர் தடிமன் முதல் விட்டம் விகிதம்: 1：35
(5) லென்ஸ் மேற்பரப்பு துல்லியம்: <= λ/5
பிந்தைய புறநிலை லென்ஸ்
| அதிகபட்ச நுழைவு மாணவர் (மிமீ) | ஒளியியல் 1 விட்டம் (மிமீ) | ஒளியியல் 2 விட்டம் (மிமீ) | ஒளியியல் 3 விட்டம் (மிமீ) | ஸ்கேன் புலம் (மிமீ) | தெளிவான துளை ஸ்கேனர் (மிமீ) | அலைநீளம் |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
பிரதிபலிப்பு கண்ணாடி
| பகுதி விளக்கம் | விட்டம் (மிமீ) | தடிமன் (மிமீ) | பொருள் | பூச்சு |
| சிலிக்கான் பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 3 | சிலிக்கான் | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| சிலிக்கான் பிரதிபலிப்பாளர் | 30 | 4 | சிலிக்கான் | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| ஃபைபர் பிரதிபலிப்பு | 25.4 | 6.35 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| ஃபைபர் பிரதிபலிப்பு | 30 | 5 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| ஃபைபர் பிரதிபலிப்பு | 50 | 10 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| 532 பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 6 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 6.35 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 பிரதிபலிப்பாளர் | 30 | 5 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 பிரதிபலிப்பாளர் | 50 | 10 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 355 பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 6 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@355nm & 433nm, aoi: 45 ° |
| 355 பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 6.35 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@355nm & 433nm, aoi: 45 ° |
| 355 பிரதிபலிப்பாளர் | 25.4 | 10 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@355nm & 433nm, aoi: 45 ° |
| 355 பிரதிபலிப்பாளர் | 30 | 5 | இணைந்த சிலிக்கா | HR@355nm & 433nm, aoi: 45 ° |
கால்வோ கண்ணாடி
| பகுதி விளக்கம் | அதிகபட்ச நுழைவு மாணவர் (மிமீ) | பொருள் | பூச்சு | அலைநீளம் |
| 55mml*35mmw*3.5mmt-x 62mml*43mmw*3.5mmt-y | 30 | சிலிக்கான் | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mml*35mmw*3.5mmt-x 62mml*43mmw*3.5mmt-y | 30 | இணைந்த சிலிக்கா | Hr@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mml*35mmw*3.5mmt-x 62mml*43mmw*3.5mmt-y | 30 | இணைந்த சிலிக்கா | Hr@532nm | 532nm |
| 55mml*35mmw*3.5mmt-x 62mml*43mmw*3.5mmt-y | 30 | இணைந்த சிலிக்கா | Hr@355nm | 355nm |
பாதுகாப்பு லென்ஸ்
| விட்டம் (மிமீ) | தடிமன் (மிமீ) | பொருள் | பூச்சு |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
